%0 Journal Article
%T 亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用
%A 陈献忠
%A 姚汉民
%A 陈旭南
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2003
%X ？介绍两种用亚稳态氦原子束制作纳米结构的新方法。亚稳态原子束从原子源喷出后首先对其进行横向激光冷却，准直后的原子束穿过与之垂直的激光驻波场时发生淬火过程，原子的密度分布出现沟道化效应，给出基于光掩模制作纳米图形的基本原理、理论分析及模拟结果。介绍基于物理掩模制作纳米图形的原理和sam抗蚀剂，利用沉积在基底上的亚稳态原子破坏基底上的sam膜，结合刻蚀技术可制作出纳米量级的图形。
%K 亚稳态原子束
%K 纳米结构制作
%K 光掩模
%K 光驻波淬火
%K 自组装单分子膜抗蚀剂
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract1012.shtml