不锈钢管道低温溅射镀tin薄膜技术

？设计了一套适用于加速器细长管道真空室的低温溅射镀tin薄膜装置。利用该装置，对86mm×2000mm的不锈钢管道真空室进行溅射镀tin膜实验，并对镀膜实验结果进行分析，得到了适用于加速器管道真空室内壁溅射镀tin膜的表面处理参数。样品测试结果表明：在压强为80～90pa、基体温度为160~180℃的镀膜参数下，不锈钢管道内壁获得的tin薄膜最佳，薄膜沉积速率为0.145nm/s。镀膜后真空室的二次电子产额明显降低。