%0 Journal Article
%T 不锈钢管道低温溅射镀tin薄膜技术
%A 张耀锋
%A 王勇
%A 尉伟
%A 王建平
%A 范乐
%A 蒋道满
%A 朱存宝
%A 刘祖平
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2007
%X ？设计了一套适用于加速器细长管道真空室的低温溅射镀tin薄膜装置。利用该装置，对86mm×2000mm的不锈钢管道真空室进行溅射镀tin膜实验，并对镀膜实验结果进行分析，得到了适用于加速器管道真空室内壁溅射镀tin膜的表面处理参数。样品测试结果表明：在压强为80～90pa、基体温度为160~180℃的镀膜参数下，不锈钢管道内壁获得的tin薄膜最佳，薄膜沉积速率为0.145nm/s。镀膜后真空室的二次电子产额明显降低。
%K 低温直流溅射
%K tin膜
%K 不锈钢真空室
%K 二次电子产额
%K 加速器
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract3232.shtml