%0 Journal Article %T 不锈钢管道低温溅射镀tin薄膜技术 %A 张耀锋 %A 王勇 %A 尉伟 %A 王建平 %A 范乐 %A 蒋道满 %A 朱存宝 %A 刘祖平 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2007 %X ?设计了一套适用于加速器细长管道真空室的低温溅射镀tin薄膜装置。利用该装置,对86mm×2000mm的不锈钢管道真空室进行溅射镀tin膜实验,并对镀膜实验结果进行分析,得到了适用于加速器管道真空室内壁溅射镀tin膜的表面处理参数。样品测试结果表明:在压强为80~90pa、基体温度为160~180℃的镀膜参数下,不锈钢管道内壁获得的tin薄膜最佳,薄膜沉积速率为0.145nm/s。镀膜后真空室的二次电子产额明显降低。 %K 低温直流溅射 %K tin膜 %K 不锈钢真空室 %K 二次电子产额 %K 加速器 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract3232.shtml