多光束激光干涉光刻图样

？利用电磁理论，研究了多光束激光干涉图样的产生原理，结合计算机数值模拟和相关实验结果，分析了干涉图样的影响因素。研究结果表明：多光束激光干涉图样可以看成是多组余弦分布的平行线条纹的叠加；相干光束的偏振方向、入射方向、光束间相λ差是干涉图样的重要影响因素，改变这些因素，余弦分布的平行线条纹的振幅、λ置、周期和方向发生变化，图样也随之变化。