%0 Journal Article
%T 多光束激光干涉光刻图样
%A 张伟
%A 刘维萍
%A 顾小勇
%A 谈春雷
%A 彭长四
%J 强激光与粒子束
%P 1-2
%D 2011
%X ？利用电磁理论，研究了多光束激光干涉图样的产生原理，结合计算机数值模拟和相关实验结果，分析了干涉图样的影响因素。研究结果表明：多光束激光干涉图样可以看成是多组余弦分布的平行线条纹的叠加；相干光束的偏振方向、入射方向、光束间相λ差是干涉图样的重要影响因素，改变这些因素，余弦分布的平行线条纹的振幅、λ置、周期和方向发生变化，图样也随之变化。
%K 微纳结构
%K 纳米制造
%K 激光干涉光刻
%K 激光干涉图样
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract5668.shtml