矩形元件离焦及像散计算方法

？利用zernike多项式进行最小二乘拟合来计算矩形元件的离焦及像散,不需要波面数据在圆域内正交，从而避免了波面数据缺失区域的数据插值。通过计算圆形口径数据，与商业软件计算结果比较，差别小于0.005倍波长，证明了该方法计算离焦及像散的可行性。分析了不同长宽比下矩形元件的离焦及像散。结果表明用商业软件计算矩形口径元件像散时，随着长宽比的增加，偏差会明显增大。