%0 Journal Article %T 矩形元件离焦及像散计算方法 %A 高波 %A 徐凯源 %A 柴立群 %A 李强 %A 魏小红 %A 刘昂 %J 强激光与粒子束 %P 16-17 %D 2011 %X ?利用zernike多项式进行最小二乘拟合来计算矩形元件的离焦及像散,不需要波面数据在圆域内正交,从而避免了波面数据缺失区域的数据插值。通过计算圆形口径数据,与商业软件计算结果比较,差别小于0.005倍波长,证明了该方法计算离焦及像散的可行性。分析了不同长宽比下矩形元件的离焦及像散。结果表明用商业软件计算矩形口径元件像散时,随着长宽比的增加,偏差会明显增大。 %K 离焦 %K 像散 %K 最小二乘法 %K 矩形口径 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract5685.shtml