高损伤阈值三倍频分离膜

？设计了nd：yag激光用三倍频分离膜，膜层材料为sio2和hfo2。经过优化，膜系在355nm处的反射率在99%以上，在532nm和1064nm处透射率也在99%以上。采用电子束蒸发技术，在熔融石英基底上制备了样品,经测量，制备的分离膜光学性能与设计值接近。分离膜在355nm激光辐照下的损伤阈值为5.1j/cm2，并用微分干涉显微镜表征了薄膜损伤形貌。