%0 Journal Article %T 高损伤阈值三倍频分离膜 %A 王孝东 %A 张锦龙 %A 马彬 %A 焦宏飞 %A 丁涛 %A 程鑫彬 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2011 %X ?设计了nd:yag激光用三倍频分离膜,膜层材料为sio2和hfo2。经过优化,膜系在355nm处的反射率在99%以上,在532nm和1064nm处透射率也在99%以上。采用电子束蒸发技术,在熔融石英基底上制备了样品,经测量,制备的分离膜光学性能与设计值接近。分离膜在355nm激光辐照下的损伤阈值为5.1j/cm2,并用微分干涉显微镜表征了薄膜损伤形貌。 %K 三倍频分离膜 %K 电子束蒸发 %K 激光损伤阈值 %K 光学薄膜 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract5028.shtml