全部 标题 作者
关键词 摘要

OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用:99美元

查看量下载量

相关文章

更多...

rb-sic表面改性si涂层的制备与性能

, PP. 0-0

Keywords: rb-sic,射频磁控溅射,表面改性,表面粗糙度

Full-Text   Cite this paper   Add to My Lib

Abstract:

?为了获得高质量光学表面的碳化硅反射镜,利用射频磁控溅射方法,在直径70mm的rb-sic基片上沉积了厚约100μm的si改性涂层,对改性层进行超光滑加工,并对改性层的表面形貌及性能进行了测试。zygo表面粗糙度仪测试结果表明,抛光后si改性涂层表面粗糙度均方根值达到了0.496nm;x射线衍射仪测试显示,制备si改性涂层为多晶结构;使用拉力机做附着力测试,结果表明膜基附着力大于10.7mpa。证明采用磁控溅射技术制备的si改性涂层均匀、致密、附着力好,能够满足rb-sic材料表面改性要求。

Full-Text

Contact Us

service@oalib.com

QQ:3279437679

WhatsApp +8615387084133