|
强激光与粒子束 2011
rb-sic表面改性si涂层的制备与性能, PP. 0-0 Keywords: rb-sic,射频磁控溅射,表面改性,表面粗糙度 Abstract: ?为了获得高质量光学表面的碳化硅反射镜,利用射频磁控溅射方法,在直径70mm的rb-sic基片上沉积了厚约100μm的si改性涂层,对改性层进行超光滑加工,并对改性层的表面形貌及性能进行了测试。zygo表面粗糙度仪测试结果表明,抛光后si改性涂层表面粗糙度均方根值达到了0.496nm;x射线衍射仪测试显示,制备si改性涂层为多晶结构;使用拉力机做附着力测试,结果表明膜基附着力大于10.7mpa。证明采用磁控溅射技术制备的si改性涂层均匀、致密、附着力好,能够满足rb-sic材料表面改性要求。
|