%0 Journal Article
%T rb-sic表面改性si涂层的制备与性能
%A 苑永涛
%A 刘红
%A 邵传兵
%A 陈益超
%A 方敬忠
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2011
%X ？为了获得高质量光学表面的碳化硅反射镜，利用射频磁控溅射方法，在直径70mm的rb-sic基片上沉积了厚约100μm的si改性涂层，对改性层进行超光滑加工，并对改性层的表面形貌及性能进行了测试。zygo表面粗糙度仪测试结果表明，抛光后si改性涂层表面粗糙度均方根值达到了0.496nm；x射线衍射仪测试显示，制备si改性涂层为多晶结构；使用拉力机做附着力测试，结果表明膜基附着力大于10.7mpa。证明采用磁控溅射技术制备的si改性涂层均匀、致密、附着力好，能够满足rb-sic材料表面改性要求。
%K rb-sic
%K 射频磁控溅射
%K 表面改性
%K 表面粗糙度
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract5216.shtml