激光等离子体软x射线源靶材的选择及特性

？给出了用于软x射线投影光刻的激光等离子体源靶材的选择依据。计算了类锂氧离子的辐射跃迁波长和相应的跃迁速率值。并通过与常规金属靶的比较,给出了实验靶的一些特性。