%0 Journal Article
%T 激光等离子体软x射线源靶材的选择及特性
%A 林景全
%A 陈波
%A 尼启良
%A 曹健林
%A 周忠源
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 1998
%X ？给出了用于软x射线投影光刻的激光等离子体源靶材的选择依据。计算了类锂氧离子的辐射跃迁波长和相应的跃迁速率值。并通过与常规金属靶的比较,给出了实验靶的一些特性。
%K 激光等离子体
%K 靶材
%K 碎片
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract1786.shtml