类ni稀土x光激光波段衰减膜的设计与研究

？对类ni稀土x光激光波段衰减膜进行了设计，并根据设计结果，利用磁控溅射和旋转涂覆法分别制备了自支撑的ag衰减膜和聚苯乙烯(c8h8)衰减膜。利用真空α能谱测厚仪和α-step100台阶仪分别对衰减膜的质量厚度和均匀性进行了测量，用auger电子能谱(aes)对ag衰减膜进行了表面杂质分析。