%0 Journal Article
%T 类ni稀土x光激光波段衰减膜的设计与研究
%A 汤学峰
%A 顾牡
%A 周斌
%A 杜保旗
%A 祁金林
%A 赖珍荃
%A 陈玲燕
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 1999
%X ？对类ni稀土x光激光波段衰减膜进行了设计，并根据设计结果，利用磁控溅射和旋转涂覆法分别制备了自支撑的ag衰减膜和聚苯乙烯(c8h8)衰减膜。利用真空α能谱测厚仪和α-step100台阶仪分别对衰减膜的质量厚度和均匀性进行了测量，用auger电子能谱(aes)对ag衰减膜进行了表面杂质分析。
%K ag衰减膜
%K 聚苯乙烯衰减膜
%K 真空α能谱测厚仪
%K 俄歇电子能谱(aes)
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract1222.shtml