磁流变加工的连续相位板波前及光强特性

？对采用磁流变抛光（mrf）工艺加工的大口径连续相位板（cpp）的波前及其光强控制特性进行了分析，对由不同的加工参数(走刀间距和走刀偏置)所加工的三组cpp进行了比较，并分析了mrf加工所引入的中频误差对cpp波前和光强特性的影响。结果表明，走刀间距为2mm、对应走刀偏置范围为0.1~0.3mm时所加工cpp的波前及其光强控制能力较差，远场有一定程度的旁瓣产生；走刀间距为2mm、偏置范围为0.4~0.5mm时所加工cpp和走刀间距为1mm、偏置范围为0.1~0.3mm时所加工cpp相比较，迭代加工效率提高，cpp波前中频误差得到一定的改善。进一步分析表明mrf所引入的中频误差对cpp波前梯度及旁瓣影响较大。