%0 Journal Article %T 磁流变加工的连续相位板波前及光强特性 %A 颜浩 %A 杨春林 %A 侯晶 %A 唐才学 %A 温圣林 %A 张远航 %J 强激光与粒子束 %D 2014 %X ?对采用磁流变抛光(mrf)工艺加工的大口径连续相位板(cpp)的波前及其光强控制特性进行了分析,对由不同的加工参数(走刀间距和走刀偏置)所加工的三组cpp进行了比较,并分析了mrf加工所引入的中频误差对cpp波前和光强特性的影响。结果表明,走刀间距为2mm、对应走刀偏置范围为0.1~0.3mm时所加工cpp的波前及其光强控制能力较差,远场有一定程度的旁瓣产生;走刀间距为2mm、偏置范围为0.4~0.5mm时所加工cpp和走刀间距为1mm、偏置范围为0.1~0.3mm时所加工cpp相比较,迭代加工效率提高,cpp波前中频误差得到一定的改善。进一步分析表明mrf所引入的中频误差对cpp波前梯度及旁瓣影响较大。 %K 连续位相板 %K 磁流变 %K 中频误差 %K 焦斑 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract9420.shtml