皮秒激光在激光状态方程靶制备中的应用

？介绍了激光状态方程靶中金属薄膜台阶的切割方法。采用皮秒激光加工技术切割了宽度百μm量级的金属薄膜台阶，研究了金属薄膜台阶宽度控制的方法，讨论了切割过程中产生热效应的因素，优化了激光加工参数。实验加工中，采用加工的参数：功率为0.5w，脉宽10ps,波长355nm,扫描速率为100mm/s,获得了宽度400μm和120μm的金属薄膜。测量结果表明，金属薄膜的宽度能精确控制，切割后金属薄膜表面质量能保持切割前的质量。