%0 Journal Article
%T 皮秒激光在激光状态方程靶制备中的应用
%A 叶君建
%A 谢志勇
%A 黄秀光
%A 方智恒
%A 舒桦
%A 傅思祖
%J 强激光与粒子束
%D 2014
%X ？介绍了激光状态方程靶中金属薄膜台阶的切割方法。采用皮秒激光加工技术切割了宽度百μm量级的金属薄膜台阶，研究了金属薄膜台阶宽度控制的方法，讨论了切割过程中产生热效应的因素，优化了激光加工参数。实验加工中，采用加工的参数：功率为0.5w，脉宽10ps,波长355nm,扫描速率为100mm/s,获得了宽度400μm和120μm的金属薄膜。测量结果表明，金属薄膜的宽度能精确控制，切割后金属薄膜表面质量能保持切割前的质量。
%K 状态方程
%K 靶
%K 薄膜
%K 皮秒激光
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract8723.shtml