大口径干涉仪系统传递函数校准

？波前功率谱密度(psd)被用于评价icf激光驱动器光学元件在中频区域的波前误差。目前主要采用大口径相移干涉仪检测icf光学元件的波前畸变，通过付立叶变换获得波前的psd分布。相移干涉仪在较高空间频率分量的测量上存在失真效应，因此需对干涉仪的空间频率传递函数进行校准。本文采用位相比较法测量大口径相移干涉仪的系统传递函数。我们采用衍射光学元件的制造工艺，设计、制作了标准的透射和反射位相元件，比较理论计算值与实测psd值，分别获得了大口径相移干涉仪透射、反射测量模式的系统传递函数。