%0 Journal Article %T 大口径干涉仪系统传递函数校准 %A 许乔 %A 顾元元 %A 柴林 %A 张蓉竹 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2001 %X ?波前功率谱密度(psd)被用于评价icf激光驱动器光学元件在中频区域的波前误差。目前主要采用大口径相移干涉仪检测icf光学元件的波前畸变,通过付立叶变换获得波前的psd分布。相移干涉仪在较高空间频率分量的测量上存在失真效应,因此需对干涉仪的空间频率传递函数进行校准。本文采用位相比较法测量大口径相移干涉仪的系统传递函数。我们采用衍射光学元件的制造工艺,设计、制作了标准的透射和反射位相元件,比较理论计算值与实测psd值,分别获得了大口径相移干涉仪透射、反射测量模式的系统传递函数。 %K 光学检测 %K 波前功率谱密度 %K 系统传递函数 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract1742.shtml