制备工艺对hfo₂薄膜抗激光损伤能力的影响

？采用反应蒸镀法沉积了单层hfo2薄膜，观察了薄膜表面主要的微结构缺陷，研究了基片清洗工艺对薄膜损伤阈值的影响。测量了薄膜沉积前后表面粗糙度变化,结果表明,沉积工艺既可以增加也可以降低粗糙度,并对薄膜抗激光损伤能力有较大的影响。