%0 Journal Article
%T 制备工艺对hfo<sub>2</sub>薄膜抗激光损伤能力的影响
%A 马平
%A 柴林
%A 邱服民
%A 顾元元
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2001
%X ？采用反应蒸镀法沉积了单层hfo2薄膜，观察了薄膜表面主要的微结构缺陷，研究了基片清洗工艺对薄膜损伤阈值的影响。测量了薄膜沉积前后表面粗糙度变化,结果表明,沉积工艺既可以增加也可以降低粗糙度,并对薄膜抗激光损伤能力有较大的影响。
%K hfo2薄膜
%K 表面粗糙度
%K 激光损伤
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract1522.shtml