大口径元件反射率的镜面扫描精密测量系统

？为了测量高功率激光传输系统中大口径高反射率元件，研制了一种镜面扫描的精密测量系统。介绍了该系统的结构及其工作原理，分析了影响系统测量精度的因素，理论上估算的测量精度为2×10-5。在直腔下对该系统的性能进行了实验测试，分析表明，系统的测量不确定度优于2.05228×10-5，最大测量误差为3.55404×10-5，与理论预计结果吻合较好。对大口径元件进行的多次实验扫描测试，结果显示，镀膜加工误差导致反射率分布是关于镜面中心呈旋转对称。该系统的使用大大简化了元件表面反射率分布的测量。