%0 Journal Article
%T 大口径元件反射率的镜面扫描精密测量系统
%A 易亨瑜
%A 彭勇
%A 胡晓阳
%A 王耀梅
%A 王文东
%A 周文超
%A 郑为民
%A 黄祖鑫
%A 廖原
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2005
%X ？为了测量高功率激光传输系统中大口径高反射率元件，研制了一种镜面扫描的精密测量系统。介绍了该系统的结构及其工作原理，分析了影响系统测量精度的因素，理论上估算的测量精度为2×10-5。在直腔下对该系统的性能进行了实验测试，分析表明，系统的测量不确定度优于2.05228×10-5，最大测量误差为3.55404×10-5，与理论预计结果吻合较好。对大口径元件进行的多次实验扫描测试，结果显示，镀膜加工误差导致反射率分布是关于镜面中心呈旋转对称。该系统的使用大大简化了元件表面反射率分布的测量。
%K 光学测量
%K 反射率
%K 光腔衰荡
%K 测量精度
%K 大口径
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract307.shtml