软x射线激光用自支撑zr滤光膜的制备及测量

？利用直流磁控溅射方法制备了质量厚度为200μg·cm-2，直径为20mm的自支撑金属zr滤光膜。用同步辐射光源和紫外可见分光光度计分别测量了滤光膜在软x射线和可见光波段的透射率，用俄歇电子能谱（aes）分析了膜中的元素含量。结果表明:zr膜在13.9nm波长的透射率达19%，对可见光的抑制性能达43db。杂质、膜层氧化及表面污染是影响滤光膜软x射线光谱透射率的主要因素。