%0 Journal Article
%T 软x射线激光用自支撑zr滤光膜的制备及测量
%A 张莉
%A 吴永刚
%A 曹鸿
%A 徐垚
%A 焦宏飞
%A 陈玲燕
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2006
%X ？利用直流磁控溅射方法制备了质量厚度为200μg·cm-2，直径为20mm的自支撑金属zr滤光膜。用同步辐射光源和紫外可见分光光度计分别测量了滤光膜在软x射线和可见光波段的透射率，用俄歇电子能谱（aes）分析了膜中的元素含量。结果表明:zr膜在13.9nm波长的透射率达19%，对可见光的抑制性能达43db。杂质、膜层氧化及表面污染是影响滤光膜软x射线光谱透射率的主要因素。
%K zr
%K x射线激光
%K 滤光膜
%K 透射率
%K 直流磁控溅射
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract2669.shtml