13.9nm马赫贞德干涉仪用软x射线分束镜研究

？介绍了13.9nm马赫贞德干涉仪用软x射线分束镜的设计、制备与性能检测。基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准，设计了13.9nm软x射线激光干涉实验用多层膜分束镜。采用磁控溅射方法在有效面积为10mm×10mm、厚度为100nm的si3n4基底上镀制了mo/si多层膜，制成了多层膜分束镜。利用x射线掠入射衍射的方法测量了mo/si多层膜的周期。用扩束he-ne激光束进行的投影成像方法定性分析了分束镜的面形精度，利用光学轮廓仪完成了分束镜面形精确测量。利用北京同步辐射装置测量了分束镜反射率和透射率，在13.9nm处，分束镜反射率和透过率乘积达4%。使用多层膜分束镜构建了软x射线马赫贞德干涉仪，并应用于13.9nm软x射线激光干涉实验中，获得了清晰的含有c8h8等离子体电子密度信息的动态干涉条纹。