%0 Journal Article
%T 13.9nm马赫贞德干涉仪用软x射线分束镜研究
%A 张众
%A 王占山
%A 王洪昌
%A 王风丽
%A 吴文娟
%A 张树敏
%A 秦树基
%A 陈玲燕
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2006
%X ？介绍了13.9nm马赫贞德干涉仪用软x射线分束镜的设计、制备与性能检测。基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准，设计了13.9nm软x射线激光干涉实验用多层膜分束镜。采用磁控溅射方法在有效面积为10mm×10mm、厚度为100nm的si3n4基底上镀制了mo/si多层膜，制成了多层膜分束镜。利用x射线掠入射衍射的方法测量了mo/si多层膜的周期。用扩束he-ne激光束进行的投影成像方法定性分析了分束镜的面形精度，利用光学轮廓仪完成了分束镜面形精确测量。利用北京同步辐射装置测量了分束镜反射率和透射率，在13.9nm处，分束镜反射率和透过率乘积达4%。使用多层膜分束镜构建了软x射线马赫贞德干涉仪，并应用于13.9nm软x射线激光干涉实验中，获得了清晰的含有c8h8等离子体电子密度信息的动态干涉条纹。
%K 软x射线
%K 分束镜
%K 马赫贞德干涉仪
%K mo/si多层膜
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract2636.shtml