zn离子注入和退火对zno薄膜光学性能的影响

？利用溶胶凝胶方法在石英玻璃衬底上制备了zno薄膜，将能量56kev、剂量1×1017cm-2的zn离子注入到薄膜中。离子注入后，薄膜在500~900℃的氩气中退火，利用x射线衍射谱、光致发光谱和光吸收谱研究了离子注入和退火对zno薄膜结构和光学性质的影响。结果显示：衍射峰在约700℃退火后得到恢复；当退火温度小于600℃时，吸收边随着退火温度的提高发生蓝移，超过600℃时，吸收边随着退火温度的提高发生红移；近带边激子发光和深能级缺陷发光都随退火温度的提高而增强。