%0 Journal Article
%T zn离子注入和退火对zno薄膜光学性能的影响
%A 袁兆林
%A 祖小涛
%A 薛书文
%A 张晓艳
%A 余华军
%A 向霞
%A 居勇峰
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2007
%X ？利用溶胶凝胶方法在石英玻璃衬底上制备了zno薄膜，将能量56kev、剂量1×1017cm-2的zn离子注入到薄膜中。离子注入后，薄膜在500~900℃的氩气中退火，利用x射线衍射谱、光致发光谱和光吸收谱研究了离子注入和退火对zno薄膜结构和光学性质的影响。结果显示：衍射峰在约700℃退火后得到恢复；当退火温度小于600℃时，吸收边随着退火温度的提高发生蓝移，超过600℃时，吸收边随着退火温度的提高发生红移；近带边激子发光和深能级缺陷发光都随退火温度的提高而增强。
%K zno薄膜
%K 离子注入
%K 退火温度
%K 吸收
%K 光致发光
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract3392.shtml