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强激光与粒子束 2007
微波低噪声晶体管电磁脉冲敏感端对研究, PP. 0-0 Keywords: 微波低噪声硅晶体管,静电放电,方波电磁脉冲,损伤电压,损伤机理 Abstract: ?在研究电磁脉冲对微电子器件作用效应的过程中,针对三种不同型号的微波低噪声硅半导体器件进行了电磁脉冲(静电放电和方波电磁脉冲)直接注入的试验,结果发现该类器件对电磁脉冲最敏感的端对并不是eb结(发射极-基极),而是cb结(集电极-基极)。通过对器件结构与放电过程的分析,分别得出了cb结、eb结的损伤机理:随放电电压的增大,热载流子撞击界面,使流经界面处的少数载流子复合速度增加,少数载流子在界面处及界面附近被复合,从而降低了器件的电流放大系数。而无论从哪个结注入,器件完全失效均是由热二次击穿造成。从而更进一步地证明了cb结比eb结更敏感。
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