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ISSN: 2333-9721
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取样光栅镀膜减反技术研究

, PP. 0-0

Keywords: 取样光栅,减反膜,衍射效率,严格耦合波理论

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Abstract:

?根据惯性约束聚变系统技术要求,提出了镀膜减反方案,以解决现有光栅由于元件表面反射影响零级透过率的问题。使用严格耦合波理论分析了镀sol-gel减反膜的取样光栅特性,详细地分析了仿形膜和平面膜的减反情况和取样效率的变化。结果发现,镀平面膜是一种可行的技术方案,光栅表面反射几乎完全消除,表明可以通过取样光栅镀膜减反来达到提高透射率的目的;裸光栅的深度为12nm时,平面减反膜厚为60nm,即光学厚度为等效1/4波长:72nm。此时的透射率为99.8%,取样效率为0.241‰。

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