%0 Journal Article
%T 取样光栅镀膜减反技术研究
%A 刘全
%A 吴建宏
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2007
%X ？根据惯性约束聚变系统技术要求，提出了镀膜减反方案，以解决现有光栅由于元件表面反射影响零级透过率的问题。使用严格耦合波理论分析了镀sol-gel减反膜的取样光栅特性，详细地分析了仿形膜和平面膜的减反情况和取样效率的变化。结果发现，镀平面膜是一种可行的技术方案，光栅表面反射几乎完全消除，表明可以通过取样光栅镀膜减反来达到提高透射率的目的；裸光栅的深度为12nm时，平面减反膜厚为60nm，即光学厚度为等效1/4波长：72nm。此时的透射率为99.8%，取样效率为0.241‰。
%K 取样光栅
%K 减反膜
%K 衍射效率
%K 严格耦合波理论
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract2839.shtml