%0 Journal Article %T 取样光栅镀膜减反技术研究 %A 刘全 %A 吴建宏 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2007 %X ?根据惯性约束聚变系统技术要求,提出了镀膜减反方案,以解决现有光栅由于元件表面反射影响零级透过率的问题。使用严格耦合波理论分析了镀sol-gel减反膜的取样光栅特性,详细地分析了仿形膜和平面膜的减反情况和取样效率的变化。结果发现,镀平面膜是一种可行的技术方案,光栅表面反射几乎完全消除,表明可以通过取样光栅镀膜减反来达到提高透射率的目的;裸光栅的深度为12nm时,平面减反膜厚为60nm,即光学厚度为等效1/4波长:72nm。此时的透射率为99.8%,取样效率为0.241‰。 %K 取样光栅 %K 减反膜 %K 衍射效率 %K 严格耦合波理论 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract2839.shtml