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Keywords: 超大规模集成电路,接触电阻,自对准硅化物工艺,大直径硅
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？随着cmos技术缩至100nm或更小，在cmos器件结构、接触电阻以及大直径硅晶片等方面均遇到一些材料物理的巨大挑战.
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