OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元

投递稿件

查看量	下载量

物理 1990

等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜

, PP. 0-0

Full-Text Cite this paper Add to My Lib

Abstract:

？本文介绍了等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜的制备、性质和结构。以及在晶体管芯柱中的应用结果、解释了绝缘钝化机理．

Contact Us

service@oalib.com

WhatsApp +8615387084133