%0 Journal Article
%T 等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜
%A 周坤粦
%A 曹伟民
%A 张吉人
%J 物理
%P 0-0
%D 1990
%X ？本文介绍了等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜的制备、性质和结构。以及在晶体管芯柱中的应用结果、解释了绝缘钝化机理．
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract28623.shtml