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Keywords: 光学掩模,光刻蚀术,衍射光学,波前工程
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?基于光学衍射原理而发展起来的新光学技术,应用于光学掩模设计,可制作逼近临界尺寸的微小元件和极高密度的集成电路芯片.波前工程学可能导致集成电路模板制作上的一场革命,其前景十分引人瞩目.
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