全部 标题 作者
关键词 摘要

OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用:99美元

查看量下载量

相关文章

更多...
物理  1995 

新兴的波前工程学

, PP. 0-0

Keywords: 光学掩模,光刻蚀术,衍射光学,波前工程

Full-Text   Cite this paper   Add to My Lib

Abstract:

?基于光学衍射原理而发展起来的新光学技术,应用于光学掩模设计,可制作逼近临界尺寸的微小元件和极高密度的集成电路芯片.波前工程学可能导致集成电路模板制作上的一场革命,其前景十分引人瞩目.

Full-Text

Contact Us

service@oalib.com

QQ:3279437679

WhatsApp +8615387084133