%0 Journal Article
%T 新兴的波前工程学
%A 杨国桢
%A 顾本源
%A 张国庆
%A 董碧珍
%J 物理
%P 0-0
%D 1995
%X ？基于光学衍射原理而发展起来的新光学技术，应用于光学掩模设计，可制作逼近临界尺寸的微小元件和极高密度的集成电路芯片．波前工程学可能导致集成电路模板制作上的一场革命，其前景十分引人瞩目．
%K 光学掩模
%K 光刻蚀术
%K 衍射光学
%K 波前工程
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract29329.shtml