溅射及其应用

？当入射离子能量超过靶材料的溅射阈能时，就会发生溅射现象．离子刻蚀和薄膜生长乃是溅射实际应用中的两个重要方面．一、溅射的物理基础１．溅射率随寓子入射能量的变化一个离子轰击靶表面时，被溅射出来的靶原子数目称为溅射率ｓ（原子数／离子）．溅射率ｓ随入射离子能量ｅ的变化而变化．图１是在氩离子轰击多晶铜靶时，溅射率ｓ随氮离子能量ｅ的变化曲线［１］．在图１中，区域ｉ表明由于氩离子能量ｅ＜１０ｅｖ（低于铜?...