用球坑技术制备表面分析样品和电镜样品

？用俄歇（ａｕｇｅｒ）电子能谱技术作样品深度成分分析，是一种有效的方法．近几年来，采用球坑技术制备样品深度剖面，特别是制备深度大于１μｍ时，取得较好效果［１］．球坑技术还可用来制备透射电镜的样品，如硬质材料陶瓷的样品，过去，这种非金属材料样品在预磨至３０μｍ后，还要用离子轰击减薄的方法［２－４］．现在，用球坑技术制备陶瓷材料的透射电镜样品取得了成功．球坑技术早期被人们用作半导体器件结的研究［５?...