%0 Journal Article %T 用球坑技术制备表面分析样品和电镜样品 %A 仲永安 %J 物理 %P 0-0 %D 1985 %X ?用俄歇(auger)电子能谱技术作样品深度成分分析,是一种有效的方法.近几年来,采用球坑技术制备样品深度剖面,特别是制备深度大于1μm时,取得较好效果[1].球坑技术还可用来制备透射电镜的样品,如硬质材料陶瓷的样品,过去,这种非金属材料样品在预磨至30μm后,还要用离子轰击减薄的方法[2-4].现在,用球坑技术制备陶瓷材料的透射电镜样品取得了成功.球坑技术早期被人们用作半导体器件结的研究[5?... %U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract27823.shtml