离子镀技术

？离子镀是物理气相沉积（ｐｈｙｓｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅ－ｐｏｓｉｔｉｏｎ）法的一种，是美国物理学家ｍａｔｔｏｘ于六十年代初，将真空蒸发和真空溅射结合起来而研制成功的一种新的镀膜技术[１］．由于它的独特优点受到人们广泛的重视，许多科学工作者对这一技术进行了深入研究．七十年代初，ｂｕｎｓｈａｈ[２］在离子镀装置中加上探测极，研制成功一种活性反应法（ａｒｅ法）；ｍｏｒｅｙ[３］等人研制成功空心阴极等离子....