%0 Journal Article
%T 离子镀技术
%A 张世兴
%J 物理
%P 0-0
%D 1986
%X ？离子镀是物理气相沉积（ｐｈｙｓｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅ－ｐｏｓｉｔｉｏｎ）法的一种，是美国物理学家ｍａｔｔｏｘ于六十年代初，将真空蒸发和真空溅射结合起来而研制成功的一种新的镀膜技术[１］．由于它的独特优点受到人们广泛的重视，许多科学工作者对这一技术进行了深入研究．七十年代初，ｂｕｎｓｈａｈ[２］在离子镀装置中加上探测极，研制成功一种活性反应法（ａｒｅ法）；ｍｏｒｅｙ[３］等人研制成功空心阴极等离子....
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract27996.shtml