纳米硅薄膜的量子特征及其应用前景

？文章通过对纳米硅薄膜结构组分的研究，从实验和理论上共同探讨了其低维量子特征，并由此提出其电输运机制及其可见发光机理．最后，综合纳米硅薄膜的各种新颖物性，展望了其在纳米电子学和ｍｅｍｓ（微机电系统）领域内的应用前景．