%0 Journal Article %T 纳米硅薄膜的量子特征及其应用前景 %A 何宇亮 %A 刘宏 %J 物理 %P 0-0 %D 1999 %X ?文章通过对纳米硅薄膜结构组分的研究,从实验和理论上共同探讨了其低维量子特征,并由此提出其电输运机制及其可见发光机理.最后,综合纳米硅薄膜的各种新颖物性,展望了其在纳米电子学和mems(微机电系统)领域内的应用前景. %K 纳米硅薄膜 %K 量子点 %K 电子隧穿 %U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract29644.shtml