钛酸锶钡材料应用于超高密度动态随机存储器的研究

？铁电钛酸锶钡材料具有十分优越的介电性能高的介电常数，较低的介电损耗，好的绝缘漏电性能；而且，通过调节材料中的ba/sr成分比，可改变材料的居里相变温度tc，以满足特定应用环境的温度需要，在超高密度集成的动态随机存储器(dram)方面表现出广阔的应用前景.文章概括介绍了baxsr1-xtio3薄膜材料在dram应用中已取得的最新研究进展，并对这一应用所面临的问题也进行了详细讨论.