%0 Journal Article %T 钛酸锶钡材料应用于超高密度动态随机存储器的研究 %A 朱小红 %A 郑东宁 %J 物理 %P 0-0 %D 2004 %X ?铁电钛酸锶钡材料具有十分优越的介电性能高的介电常数,较低的介电损耗,好的绝缘漏电性能;而且,通过调节材料中的ba/sr成分比,可改变材料的居里相变温度tc,以满足特定应用环境的温度需要,在超高密度集成的动态随机存储器(dram)方面表现出广阔的应用前景.文章概括介绍了baxsr1-xtio3薄膜材料在dram应用中已取得的最新研究进展,并对这一应用所面临的问题也进行了详细讨论. %K 铁电/介电薄膜 %K 钛酸锶钡 %K 动态随机存储器 %U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract30354.shtml