硅基光电集成器件研究进展

？随着器件结构与制作工艺的不断创新与完善，硅基发光器件已经可以实现室温下的有效工作，外量子效率可达到0.1％；低功耗的硅基高速调制器件的调制速率达到1ghz以上；而硅基光探测器对1300nm与1550nm波长的探测响应度也已分别达到了0.16ma/w和0.08ma/w.文章对硅基光电器件的研究进展情况进行了概述，并着重对几种器件的结构及工作原理进行了分析.