%0 Journal Article %T 硅基光电集成器件研究进展 %A 孙飞 %A 余金中 %J 物理 %P 0-0 %D 2005 %X ?随着器件结构与制作工艺的不断创新与完善,硅基发光器件已经可以实现室温下的有效工作,外量子效率可达到0.1%;低功耗的硅基高速调制器件的调制速率达到1ghz以上;而硅基光探测器对1300nm与1550nm波长的探测响应度也已分别达到了0.16ma/w和0.08ma/w.文章对硅基光电器件的研究进展情况进行了概述,并着重对几种器件的结构及工作原理进行了分析. %K 光电集成 %K 发光器件 %K 光调制器 %K 光探测器 %U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract30514.shtml